扫描电子显微镜
仪器名称：扫描电子显微镜+阴极发光成像系统（SEM+CL）
型号：JEOL JSM-6510 + Gantan Mini CL
生产厂家：日本电子公司；美国Gantan公司
JMS-6510系列性能指标：
装配了低真空模式，可以对不导电样品进行观察；
分辨率高真空模式：3.0nm（30kV），8.0nm（3kV），15nm（1kV）；
分辨率低真空模式：4.0nm（30kV）；
放大倍率：×5至×300,000 （图像尺寸：128mm×96mm）
图像模式：二次电子像、REF像、成分像、凹凸像、阴影像；
加速电压：0.5kV至30Kv；
灯丝：工厂预对中灯丝；
电子枪：全自动，可手动；
聚光镜：可变焦聚光镜；
物镜：超级圆锥形物镜；
物镜光阑：3档，XY细调；
消像散记忆：标配；
电图像位移：±50μm（WD=10mm）
自动功能：聚焦，亮度，对比度，消像散
样品台：大型全对中样品台，X：80mm，Y：40mm，Z：5mm至48mm，
倾斜：-10°至﹢90°，旋转：360°；
最大样品尺寸：直径150mm
阴极成像MiniCL系统主要性能：
探测器：原位探针式安装，微型，多碱式光电倍增管；
波长范围：185-850mm；
探测器尺寸：直径16mm，长度取决于SEM；
可伸缩长度：~100mm，可调；
高压供应：0-1kV，具有可调的跳闸保护；
成像控制：亮度、衬度、反转衬度；
模拟信号输出：﹢/﹣10V可调（需要SEM上的辅助成像信号输入端口或者电子束控制系统）。
主要用途：
主要用于微体物质观察成像、鉴别岩矿发光中心和缺陷的空间分布、锆石微区元素、测年阴极发光图像获取。
